2 μm硅基叉指電極氣體光學濕度醫療生物傳感器芯片MEMS高精度
| 【編號】BK2021012612 | 【CAS號】cas | ||
| 【貨號】BK2021012612 | 【規格】 | ||
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2微米硅基二氧化硅叉指金電極光電檢測傳感器芯片MEMS高精度
1.電極襯底為單晶硅，硅片表面生長二氧化硅，厚度為 300nm ;外形尺寸:5mm*8mm*0.52mm.
2.線寬: 5um，線距: 2um，指長:1.8mm，叉指對數: 100(200指).
3.金屬層結構: Cr/Au，厚度分別為30nm，100nm;
4.電極使用溫度范圍:-150℃~500℃ ;
5.外形尺寸大，焊盤大，操作方便;
6.主要用于各類化學，物理及醫療傳感器，性能可靠，質量穩定。
7.量大價格從優。
我們提供各種叉指電極。包括不同形狀，不同尺寸，不同線寬線距，不同基材（氧化
鋁陶瓷，PI/PET柔性材料，單晶硅)，不同工藝(厚膜工藝，DPC 工藝，MEMS 工藝)。
留言咨詢
1.電極襯底為單晶硅，硅片表面生長二氧化硅，厚度為 300nm ;外形尺寸:5mm*8mm*0.52mm.
2.線寬: 5um，線距: 2um，指長:1.8mm，叉指對數: 100(200指).
3.金屬層結構: Cr/Au，厚度分別為30nm，100nm;
4.電極使用溫度范圍:-150℃~500℃ ;
5.外形尺寸大，焊盤大，操作方便;
6.主要用于各類化學，物理及醫療傳感器，性能可靠，質量穩定。
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