20μm叉指金電極單晶硅基電容陣列高精度科研生物傳感器芯片MEMS
| 【編號】BK2021012609 | 【CAS號】cas | ||
| 【貨號】BK2021012609 | 【規格】 | ||
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20um叉指電極硅基電容陣列MEMS氣敏光敏濕敏生物傳感器
1．外形尺寸:4mm*7mm*0.52mm.
2．線寬:30 u m，線距:20 u m，指長:1.4mm，叉指對數:26(52指)．
3．電極襯底為單晶硅，硅片表面生長Si02，厚度為300nm;
4.金屬層結構:Cr/Au，厚度分別為10nm，100nm;
5.電極使用溫度范圍:-150℃～500℃;
6．主要用于各類化學，物理及生物傳感器，性能可靠，質量穩定。
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