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8μm單晶硅叉指電極高精度高穩(wěn)定性化學(xué)氣體生物傳感器光電檢測(cè)

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【編號(hào)】BK2021012602 【CAS號(hào)】cas
【貨號(hào)】BK2021012602 【規(guī)格】
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17715390137 / 18101240246 / 18914047343

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1.外形尺寸:4mm*6mm*0.52mm.
2.線寬:12 u m,線距:8 u m,指長(zhǎng): 1.5mm,叉指對(duì)數(shù):60(120指).3.電極襯底為單晶硅,硅片表面生長(zhǎng)Si02,厚度為300nm;
4.金屬層結(jié)構(gòu):Cr /Au,厚度分別為10nm,100nm;
5.電極使用溫度范圍:-150℃~500℃;
6.主要用于各類化學(xué),物理及醫(yī)療傳感器,性能可靠,質(zhì)量穩(wěn)定。7.量大價(jià)格從優(yōu)。
我們提供各種叉指電極,包括不同形狀,不同尺寸,不同線寬線距,不同基材(氧化鋁陶瓷,PI/PET柔性材料,單晶硅),不同工藝(厚膜工藝,PCB工藝,MEMS工藝)。




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